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一种硅片花篮的自动抓取清洗设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410370828.X
申请日：
2024-03-29
公开(公告)号：
CN117976583A
公开(公告)日：
2024-05-03
发明(设计)人：
吴开泰
王志红
沈星
申请人：
江苏英思特半导体科技有限公司
申请人地址：
226500 江苏省南通市如皋市城南街道新源北路8号11号厂房（1-2层）
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/687
H01L21/673
B08B3/04
B08B13/00
代理机构：
北京中知音诺知识产权代理事务所(普通合伙) 13138
代理人：
管林林
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
北京市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20240329 |
| 2024-05-28 | 授权 | 授权 |
| 2024-05-03 | 公开 | 公开 |