一种多晶金刚石膜的抛光装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202321791797.2
申请日
2023-07-10
公开(公告)号
CN220783445U
公开(公告)日
2024-04-16
发明(设计)人
王凯 秦静
申请人
美若科技有限公司
申请人地址
276800 山东省日照市五莲县市北经济开发区山河路57号
IPC主分类号
B24B29/02
IPC分类号
B24B41/04 B24B55/06 B24B55/03
代理机构
济南文衡创服知识产权代理事务所(普通合伙) 37323
代理人
谭青青
法律状态
授权
国省代码
河北省 衡水市
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共 50 条
[1]
一种多晶金刚石膜的抛光方法 [P]. 
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[2]
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[3]
一种多晶金刚石抛光设备 [P]. 
梁奇 ;
汤磊 ;
陈波 .
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[4]
一种金刚石膜抛光装置 [P]. 
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[9]
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[10]
一种金刚石用抛光装置 [P]. 
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