一种新型高效率联机生产系统及生产工艺

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202311447056.7
申请日
2023-11-02
公开(公告)号
CN117393469A
公开(公告)日
2024-01-12
发明(设计)人
涂家礼
申请人
深圳市龙晶微电子有限公司
申请人地址
518000 广东省深圳市坪山新区坪山街道锦龙大道南陆海兴工业园
IPC主分类号
H01L21/67
IPC分类号
H01L21/677 H01L21/50 H01L21/60
代理机构
深圳市远航专利商标事务所(普通合伙) 44276
代理人
袁浩华
法律状态
实质审查的生效
国省代码
广东省 深圳市
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共 50 条
[1]
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涂家礼 .
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