一种高灵敏度的微环传感芯片及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311528405.8

申请日：

2023-11-16

公开(公告)号：

CN117554290A

公开(公告)日：

2024-02-13

发明(设计)人：

张赞马鑫苏国帅

申请人：

苏州微光电子融合技术研究院有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道558

IPC主分类号：

G01N21/01

IPC分类号：

G01N21/41

代理机构：

苏州蓝海知新知识产权代理事务所(普通合伙) 32762

代理人：

李微

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/01申请日:20231116
2024-02-13	公开	公开

共 50 条

[1]

一种基于波纹波导的高灵敏度微环谐振腔传感器及其测试方法 [P].

苏国帅 ;

曹丽敏 .

中国专利 :CN119757281A ,2025-04-04

[2]

一种高灵敏度的中红外有源微环气体传感器 [P].

熊松松 .

中国专利 :CN108872123A ,2018-11-23

[3]

一种高灵敏度磁传感芯片的制造方法 [P].

曲炳郡 ;

熊伟 .

中国专利 :CN102683582A ,2012-09-19

[4]

一种传感灵敏度可调的高灵敏度柔性传感材料及其制备方法 [P].

赵骞 ;

侯毅豪 ;

吴晗 ;

常艳娇 ;

郭明卓 ;

赵佳乐 .

中国专利 :CN119223150A ,2024-12-31

[5]

具有高灵敏度的用于硅微电容传声器的芯片及其制备方法 [P].

徐联 ;

汪承灏 ;

李晓东 ;

魏建辉 ;

黄歆 .

中国专利 :CN100499877C ,2005-06-22

[6]

高灵敏度磁传感装置及其制备方法 [P].

杨鹤俊 ;

张挺 ;

王宇翔 ;

邱鹏 .

中国专利 :CN104868051A ,2015-08-26

[7]

一种高灵敏度压阻式压力传感器及其制备方法 [P].

聂萌 ;

包宏权 ;

黄庆安 .

中国专利 :CN105222932A ,2016-01-06

[8]

高灵敏度微纳光纤复合型微腔生化传感器及其制造方法 [P].

张小贝 ;

殷赵辉 ;

杨萍 ;

庞拂飞 ;

刘云启 ;

王廷云 .

中国专利 :CN102967582A ,2013-03-13

[9]

一种高灵敏度微压力传感器芯片 [P].

王树娟 ;

何宇亮 .

中国专利 :CN201508260U ,2010-06-16

[10]

一种高灵敏度MEMS流量传感器芯片 [P].

胡国庆 .

中国专利 :CN112146717B ,2020-12-29

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