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一种真空腔体内高效加热装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311393122.7
申请日：
2023-10-25
公开(公告)号：
CN117568752A
公开(公告)日：
2024-02-20
发明(设计)人：
宣荣卫
丁永强
钱刚祥
申请人：
艾华（无锡）半导体科技有限公司
申请人地址：
214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号
IPC主分类号：
C23C14/22
IPC分类号：
C23C14/54
C23C16/46
C23C16/52
代理机构：
无锡亿联盛知识产权代理有限公司 32625
代理人：
谢恺
法律状态：
公开
国省代码：
江苏省
无锡市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-20 | 公开 | 公开 |
| 2024-03-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/22申请日:20231025 |