一种真空密封结构及镀膜设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322545438.5

申请日：

2023-09-19

公开(公告)号：

CN221033930U

公开(公告)日：

2024-05-28

发明(设计)人：

孙健沈宇亮刘亚南李鑫李志仁

申请人：

苏州迈为科技股份有限公司苏州迈正科技有限公司

申请人地址：

215200 江苏省苏州市吴江区芦荡路228号

IPC主分类号：

F16J15/06

IPC分类号：

C23C14/56

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

汪莉萍

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-28	授权	授权

共 50 条

[1]

密封门结构及真空镀膜设备 [P].

朱鹤囡 ;

戴佳 ;

林佳继 ;

张武 .

中国专利 :CN218324599U ,2023-01-17

[2]

一种镀膜机真空密封结构 [P].

汪志阳 ;

洪婧 ;

陈军 ;

雷林光 ;

谢如应 ;

邱亚盛 .

中国专利 :CN214197227U ,2021-09-14

[3]

真空镀膜设备的密封结构和真空镀膜设备 [P].

王志海 ;

邝斌 ;

陈金良 ;

齐鹏飞 ;

赖新暖 .

中国专利 :CN213624365U ,2021-07-06

[4]

一种镀膜设备真空密封旋转机构 [P].

邵家满 ;

王伟 ;

王寅 ;

盛长鹰 .

中国专利 :CN211256082U ,2020-08-14

[5]

镀膜腔室高真空密封结构 [P].

贺强 .

中国专利 :CN204849018U ,2015-12-09

[6]

一种真空腔结构及真空镀膜设备 [P].

李东升 ;

李天刚 .

中国专利 :CN223688439U ,2025-12-19

[7]

一种ALD镀膜设备的真空结构及ALD镀膜设备 [P].

田玉峰 .

中国专利 :CN216947194U ,2022-07-12

[8]

一种真空磁控溅射镀膜设备的端头密封结构 [P].

匡国庆 .

中国专利 :CN221608178U ,2024-08-27

[9]

一种用于真空镀膜设备的双层密封结构 [P].

罗松松 ;

葛治亮 ;

李险峰 .

中国专利 :CN202705460U ,2013-01-30

[10]

一种电极杆密封结构及镀膜设备 [P].

韩树果 ;

孙贤 ;

乔勇 .

中国专利 :CN209276632U ,2019-08-20

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