一种用于RTP工艺中的压力调节装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322393938.1

申请日：

2023-09-04

公开(公告)号：

CN220821488U

公开(公告)日：

2024-04-19

发明(设计)人：

苏竑森管士亚

申请人：

嘉芯闳扬半导体设备科技（浙江）有限公司

申请人地址：

314102 浙江省嘉兴市嘉善县西塘镇南苑西路999号4幢西侧

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

F17D3/01 G01N33/00

代理机构：

嘉兴尚正专利代理事务所(普通合伙) 33467

代理人：

赵文静

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于管网监测系统中的压力调节装置 [P].

吴新潮 .

中国专利 :CN205640026U ,2016-10-12

[2]

一种用于压力罐的压力调节装置 [P].

陈伟秋 ;

陈奕潼 .

中国专利 :CN218236273U ,2023-01-06

[3]

一种压力调节装置 [P].

王建强 .

中国专利 :CN218358993U ,2023-01-24

[4]

一种操作简单的电厂中锅炉炉膛压力调节装置 [P].

宋鑫 ;

岳爽 ;

徐明 ;

李修成 ;

王桂安 ;

杨金学 ;

雷鸣奇 ;

王忠元 ;

梁红雨 ;

董畅 .

中国专利 :CN216844632U ,2022-06-28

[5]

一种智能半导体压力调节装置 [P].

李威 ;

邹佩澄 .

中国专利 :CN222867027U ,2025-05-13

[6]

一种带有压力调节装置的压力容器 [P].

马太 ;

宋凯 ;

黄国松 ;

陈继红 ;

成艳娥 ;

高伟 ;

赵春玲 .

中国专利 :CN212273671U ,2021-01-01

[7]

用于反应炉中的气体压力调节装置 [P].

苏玉财 .

中国专利 :CN204256546U ,2015-04-08

[8]

一种机械切片的压力调节装置 [P].

吕燕 ;

刘银华 ;

武彤 ;

吴天远 .

中国专利 :CN221475348U ,2024-08-06

[9]

一种气体压力调节装置 [P].

吴桂星 .

中国专利 :CN212873289U ,2021-04-02

[10]

一种气体压力调节装置 [P].

林海杰 ;

周璇 ;

梁列全 ;

徐培钰 ;

吴敏涛 .

中国专利 :CN211928447U ,2020-11-13

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