一种防划伤硅片架

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202320654670.X
申请日
2023-03-29
公开(公告)号
CN220367893U
公开(公告)日
2024-01-19
发明(设计)人
张帅 卢飞红 许峰 刘建刚 卢锋 何剑鸣
申请人
金瑞泓微电子(嘉兴)有限公司
申请人地址
314001 浙江省嘉兴市南湖区凌公塘路3339号(嘉兴科技城)2号楼251室
IPC主分类号
H01L21/673
IPC分类号
代理机构
上海泰博知识产权代理有限公司 31451
代理人
钱文斌
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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