用于蚀刻多个堆叠层的化学过程

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880053811.4

申请日：

2018-08-28

公开(公告)号：

CN111052318B

公开(公告)日：

2024-05-28

发明(设计)人：

沈鹏占部继一郎横田二郎尼古拉斯·戈塞特

申请人：

乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司

申请人地址：

法国巴黎

IPC主分类号：

H01L21/3065

IPC分类号：

代理机构：

北京市中咨律师事务所 11247

代理人：

徐国栋;林柏楠

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-28	授权	授权

共 50 条

[1]

用于蚀刻多个堆叠层的化学过程 [P].

沈鹏 ;

占部继一郎 ;

横田二郎 ;

尼古拉斯·戈塞特 .

中国专利 :CN111052318A ,2020-04-21

[2]

用于化学过程的沉积试剂 [P].

兹维·G·洛伊 ;

威廉·R·罗奇 ;

巴瓦·辛格 .

中国专利 :CN1265739A ,2000-09-06

[3]

一种用于化学过程的炬装置 [P].

Ｓ·赖努 ;

Ｋ·豪斯滕 ;

Ｋ·霍斯 ;

Ｊ·哈达尔 ;

Ｎ·迈克里巴斯特 .

中国专利 :CN1049554C ,1993-10-13

[4]

一种用于化学过程的炬装置 [P].

Ｓ·赖努 ;

Ｋ·豪斯滕 ;

Ｋ·霍斯 ;

Ｊ·哈达尔 ;

Ｎ·迈克里巴斯特 .

中国专利 :CN1049555C ,1993-10-13

[5]

控制化学过程的方法 [P].

A·J·查尔默斯 ;

J·T·爱默生 ;

L·R·弗莱明 ;

E·H·斯蒂特 .

英国专利 :CN120898180A ,2025-11-04

[6]

用于实施化学过程的方法和设备 [P].

亚当·汉德雷克 .

中国专利 :CN102439122A ,2012-05-02

[7]

用于研究板式池中的化学过程的装置 [P].

A·米勒 ;

M·戴梅克 ;

O·皮特曼 ;

F·胡贝尔 ;

G·瓦塞尔沙夫 .

德国专利 :CN118946402A ,2024-11-12

[8]

化学过程的智能监控系统 [P].

罗纳德·雅各·巴托 ;

弗兰克·加布里埃利 ;

南希·卡罗尔·莫恩 .

中国专利 :CN1008210B ,1988-05-11

[9]

用于在堆叠层中蚀刻特征的方法 [P].

里奥尼德·贝劳 ;

埃里克·赫德森 ;

弗朗西斯·斯隆·罗伯茨 .

中国专利 :CN109994380A ,2019-07-09

[10]

在电介质中的高深宽比特征的等离子体蚀刻化学过程 [P].

克伦·J·卡纳里克 ;

萨曼莎·西亚姆-华·坦 ;

潘阳 ;

杰弗里·马克斯 .

美国专利 :CN118588550A ,2024-09-03

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