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一种芯片除尘设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202211315490.5
申请日：
2022-10-26
公开(公告)号：
CN117976603A
公开(公告)日：
2024-05-03
发明(设计)人：
唐毅
桑柳波
李易英
章梦圆
周霖
申请人：
中科广化（重庆）新材料研究院有限公司
申请人地址：
400700 重庆市北碚区云禾路74号5楼
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/67
B08B5/02
B08B13/00
B08B15/04
代理机构：
成都环泰专利代理事务所(特殊普通合伙) 51242
代理人：
李斌;何佰骏
法律状态：
公开
国省代码：
山东省
青岛市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-03 | 公开 | 公开 |
| 2024-05-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20221026 |