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一种高稳定性式石英舟
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322369621.4
申请日：
2023-09-01
公开(公告)号：
CN220753386U
公开(公告)日：
2024-04-09
发明(设计)人：
汤芳
常永喜
张勇
孙秋谨
申请人：
浙江浩鑫半导体材料有限公司
申请人地址：
313000 浙江省湖州市红丰路1366号3幢1245-6室
IPC主分类号：
H01L21/673
IPC分类号：
代理机构：
南京科擎知识产权代理事务所(普通合伙) 32644
代理人：
巢一强
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-09 | 授权 | 授权 |