支承单元、基板处理装置及基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011202960.8

申请日：

2020-11-02

公开(公告)号：

CN112750728B

公开(公告)日：

2024-05-24

发明(设计)人：

方济午徐庚进安迎曙

申请人：

细美事有限公司

申请人地址：

韩国忠清南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/687

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

侯志源

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-24	授权	授权

共 50 条

[1]

支承单元、基板处理装置及基板处理方法 [P].

方济午 ;

徐庚进 ;

安迎曙 .

中国专利 :CN112750728A ,2021-05-04

[2]

支承单元、包括支承单元的基板处理设备及基板处理方法 [P].

尹嫝燮 ;

吴承勋 ;

崔睿珍 ;

李映一 ;

方炳善 ;

崔重奉 ;

朴贵秀 .

中国专利 :CN112397418A ,2021-02-23

[3]

支承单元、包括支承单元的基板处理设备及基板处理方法 [P].

尹嫝燮 ;

吴承勋 ;

崔睿珍 ;

李映一 ;

方炳善 ;

崔重奉 ;

朴贵秀 .

韩国专利 :CN112397418B ,2024-07-16

[4]

基板支承装置、基板处理装置及基板支承方法 [P].

马岛和之 ;

御所窪玄 .

中国专利 :CN101826481A ,2010-09-08

[5]

基板支承装置及基板处理装置 [P].

黑田圣弥 .

日本专利 :CN119786425A ,2025-04-08

[6]

基板支承装置及基板处理装置 [P].

黑田圣弥 .

日本专利 :CN119786426A ,2025-04-08

[7]

基板支承单元和具有该基板支承单元的基板处理装置 [P].

金大炫 ;

罗世源 .

中国专利 :CN112420550A ,2021-02-26

[8]

基板支承单元和具有该基板支承单元的基板处理装置 [P].

朴仁煌 ;

朴贵秀 ;

李暎熏 ;

崔永燮 ;

吴承勋 ;

禹钟贤 ;

诸振模 .

中国专利 :CN112117232A ,2020-12-22

[9]

基板支承单元和具有该基板支承单元的基板处理装置 [P].

金贤秀 .

中国专利 :CN110349885A ,2019-10-18

[10]

基板支承单元和具有该基板支承单元的基板处理装置 [P].

金大炫 ;

罗世源 .

韩国专利 :CN112420550B ,2025-02-25

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