接合基板的装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410064007.3

申请日：

2017-09-21

公开(公告)号：

CN118098999A

公开(公告)日：

2024-05-28

发明(设计)人：

D·齐纳 T·瓦根莱特纳 J·M·聚斯 T·普拉赫 J·马林格

申请人：

EV集团E·索尔纳有限责任公司

申请人地址：

奥地利圣弗洛里安

IPC主分类号：

H01L21/50

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/683 H01L21/687

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

周敏剑;郭帆扬

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/50申请日:20170921
2024-05-28	公开	公开

共 50 条

[1]

接合基板的装置和方法 [P].

D.齐纳 ;

T.瓦根莱特纳 ;

J.M.聚斯 ;

T.普拉赫 ;

J.马林格 .

:CN110168711B ,2024-02-13

[2]

接合基板的装置和方法 [P].

D.齐纳 ;

T.瓦根莱特纳 ;

J.M.聚斯 ;

T.普拉赫 ;

J.马林格 .

中国专利 :CN110168711A ,2019-08-23

[3]

接合基板的装置和方法 [P].

D·齐纳 ;

T·瓦根莱特纳 ;

J·M·聚斯 ;

T·普拉赫 ;

J·马林格 .

:CN118098998A ,2024-05-28

[4]

接合基板的装置和方法 [P].

D·齐纳 ;

T·瓦根莱特纳 ;

J·M·聚斯 ;

T·普拉赫 ;

J·马林格 .

:CN118099001A ,2024-05-28

[5]

接合基板的装置和方法 [P].

D·齐纳 ;

T·瓦根莱特纳 ;

J·M·聚斯 ;

T·普拉赫 ;

J·马林格 .

:CN118098996A ,2024-05-28

[6]

接合基板的装置和方法 [P].

D·齐纳 ;

T·瓦根莱特纳 ;

J·M·聚斯 ;

T·普拉赫 ;

J·马林格 .

:CN118098997A ,2024-05-28

[7]

接合基板的装置和方法 [P].

D·齐纳 ;

T·瓦根莱特纳 ;

J·M·聚斯 ;

T·普拉赫 ;

J·马林格 .

:CN118099000A ,2024-05-28

[8]

裸芯接合装置和方法以及基板接合装置和方法 [P].

李恒林 ;

高定奭 ;

金光燮 ;

金度延 ;

金旼永 ;

朴志焄 ;

金允基 ;

金度宪 ;

李忠现 ;

李孝锡 ;

张秀逸 .

韩国专利 :CN111081559B ,2024-01-16

[9]

裸芯接合装置和方法以及基板接合装置和方法 [P].

李恒林 ;

高定奭 ;

金光燮 ;

金度延 ;

金旼永 ;

朴志焄 ;

金允基 ;

金度宪 ;

李忠现 ;

李孝锡 ;

张秀逸 .

中国专利 :CN111081559A ,2020-04-28

[10]

用于衬底的接合的装置和方法 [P].

T·瓦根莱特纳 ;

T·普拉赫 ;

J·M·聚斯 .

:CN118098938A ,2024-05-28

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