一种精馏分离提纯氟化氢、五氟化磷和氯化氢混合气体的设备及其方法

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专利类型
发明
申请号
CN202210085002.X
申请日
2022-01-25
公开(公告)号
CN114477114B
公开(公告)日
2024-01-26
发明(设计)人
谢德成 肖天铎 王以兵
申请人
上海协柯环保设备有限公司
申请人地址
200000 上海市闵行区闵北路88弄1-30号第22幢CA101室
IPC主分类号
C01B25/10
IPC分类号
C01B7/07 C01B7/19 B01D3/14 B01D3/06
代理机构
上海德恒万邦专利代理有限公司 31420
代理人
汪正虎
法律状态
授权
国省代码
上海市 市辖区
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共 50 条
[1]
一种精馏分离提纯氟化氢、五氟化磷和氯化氢混合气体的设备及其方法 [P]. 
谢德成 ;
肖天铎 ;
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[2]
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[3]
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[4]
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[7]
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[8]
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[10]
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