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进气装置及进气方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410089145.7
申请日：
2024-01-23
公开(公告)号：
CN117612977A
公开(公告)日：
2024-02-27
发明(设计)人：
沈康
王兆祥
涂乐义
梁洁
吴磊
申请人：
上海邦芯半导体科技有限公司
申请人地址：
201508 上海市金山区卫昌路293号2幢12638室
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01J37/32
代理机构：
上海汉盛律师事务所 31316
代理人：
韩雪松;管雨
法律状态：
授权
国省代码：
上海市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-05 | 授权 | 授权 |
| 2024-02-27 | 公开 | 公开 |
| 2024-03-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20240123 |