一种双椭球腔式微波等离子体化学气相沉积装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311811511.7

申请日：

2023-12-26

公开(公告)号：

CN117702092A

公开(公告)日：

2024-03-15

发明(设计)人：

李成明杨志亮郭之健刘宇晨魏俊俊陈良贤刘金龙张建军欧阳晓平李建林郭明明

申请人：

北京科技大学河南飞孟金刚石股份有限公司

申请人地址：

100083 北京市海淀区学院路30号

IPC主分类号：

C23C16/511

IPC分类号：

代理机构：

北京市广友专利事务所有限责任公司 11237

代理人：

张仲波;于春晓

法律状态：

授权

国省代码：

辽宁省葫芦岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-21	授权	授权
2024-03-15	公开	公开
2024-04-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/511申请日:20231226

共 50 条

[1]

一种双椭球腔式微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

李成明 ;

杨志亮 ;

郭之健 ;

刘宇晨 ;

魏俊俊 ;

陈良贤 ;

刘金龙 ;

张建军 ;

欧阳晓平 ;

李建林 ;

郭明明 .

中国专利 :CN117702092B ,2024-06-21

[2]

一种TM多模微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

李成明 ;

杨志亮 ;

郭之健 ;

刘宇晨 ;

魏俊俊 ;

陈良贤 ;

刘金龙 ;

张建军 ;

欧阳晓平 .

中国专利 :CN118028972B ,2024-09-27

[3]

一种TM多模微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

李成明 ;

杨志亮 ;

郭之健 ;

刘宇晨 ;

魏俊俊 ;

陈良贤 ;

刘金龙 ;

张建军 ;

欧阳晓平 .

中国专利 :CN118028972A ,2024-05-14

[4]

一种环形阶梯同轴天线式微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

李成明 ;

杨志亮 ;

任飞桐 ;

魏俊俊 ;

陈良贤 ;

刘金龙 ;

张建军 ;

安康 ;

郑宇亭 .

中国专利 :CN115132561A ,2022-09-30

[5]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

涂溶 ;

徐伟清 ;

章嵩 ;

张联盟 .

中国专利 :CN105239057A ,2016-01-13

[6]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN208167149U ,2018-11-30

[7]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

朱铧丞 ;

杨阳 ;

黄卡玛 .

中国专利 :CN211947216U ,2020-11-17

[8]

微波等离子体化学气相沉积装置及其应用 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN108468086B ,2018-08-31

[9]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN209522923U ,2019-10-22

[10]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

牛进毅 ;

苗岱 .

中国专利 :CN111910170B ,2025-01-14

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