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基板清洗设备及基板清洗设备的基板传送方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202210947708.2
申请日：
2022-08-09
公开(公告)号：
CN117619792A
公开(公告)日：
2024-03-01
发明(设计)人：
蔡子玮
李明勋
申请人：
辛耘企业股份有限公司
申请人地址：
中国台湾台北市
IPC主分类号：
B08B3/02
IPC分类号：
B08B13/00
代理机构：
北京泰吉知识产权代理有限公司 11355
代理人：
史瞳;顾以中
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-01 | 公开 | 公开 |
| 2024-03-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):B08B 3/02申请日:20220809 |