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用于化学机械抛光的保持环

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111356443.0
申请日：
2017-07-24
公开(公告)号：
CN113997194B
公开(公告)日：
2024-04-05
发明(设计)人：
安德鲁·J·纳甘盖斯特 克里斯托弗·兴-均·李 托马斯·李 阿南德·N·伊耶 刁杰 焕波·张 埃里克·S·罗丹姆 李魏成 吴正勋
申请人：
应用材料公司
申请人地址：
美国加利福尼亚州
IPC主分类号：
B24B37/32
IPC分类号：
H01L21/687 B24B37/04 H01L21/306 H01L21/67
代理机构：
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006
代理人：
徐金国;赵静
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-04-05 授权 授权
共 50 条
[1]
用于化学机械抛光的保持环 [P]. 
安德鲁·J·纳甘盖斯特 ;
克里斯托弗·兴-均·李 ;
托马斯·李 ;
阿南德·N·伊耶 ;
刁杰 ;
焕波·张 ;
埃里克·S·罗丹姆 ;
李魏成 ;
吴正勋 .
中国专利 :CN109475997A ,2019-03-15
[2]
用于化学机械抛光的保持环 [P]. 
安德鲁·J·纳甘盖斯特 ;
克里斯托弗·兴-均·李 ;
托马斯·李 ;
阿南德·N·伊耶 ;
刁杰 ;
焕波·张 ;
埃里克·S·罗丹姆 ;
李魏成 ;
吴正勋 .
中国专利 :CN113997194A ,2022-02-01
[3]
化学机械抛光保持环 [P]. 
相红旗 ;
姚力军 ;
潘杰 .
中国专利 :CN212170043U ,2020-12-18
[4]
化学机械抛光装置及用于化学机械抛光装置的固定环 [P]. 
林政锜 ;
沈稘翔 ;
侯德谦 ;
张棠贵 ;
刘啟人 ;
黃惠琪 ;
陈科维 .
中国专利 :CN222289771U ,2025-01-03
[5]
一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头 [P]. 
刘建业 .
中国专利 :CN213858731U ,2021-08-03
[6]
一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头 [P]. 
赵德文 ;
刘远航 ;
孟松林 .
中国专利 :CN118163032A ,2024-06-11
[7]
一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头 [P]. 
赵德文 ;
刘远航 ;
孟松林 .
中国专利 :CN110524412B ,2024-07-12
[8]
化学机械抛光装置和化学机械抛光方法 [P]. 
铃木三惠子 ;
土屋泰章 .
中国专利 :CN1098746C ,1999-09-01
[9]
一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头 [P]. 
孟松林 ;
赵德文 ;
李长坤 ;
倪孟骐 .
中国专利 :CN211163459U ,2020-08-04
[10]
一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头 [P]. 
孟松林 ;
赵德文 ;
李长坤 ;
倪孟骐 .
中国专利 :CN111482893A ,2020-08-04
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