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化学气相沉积设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322796042.8
申请日：
2023-10-18
公开(公告)号：
CN221028673U
公开(公告)日：
2024-05-28
发明(设计)人：
杨贤烁
申请人：
乐金显示光电科技（中国）有限公司
申请人地址：
510530 广东省广州市高新技术产业开发区科学城开泰大道59号
IPC主分类号：
C23C16/509
IPC分类号：
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
李慧敏
法律状态：
授权
国省代码：
河北省
保定市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-28 | 授权 | 授权 |