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一种气浮式贴装头结构
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311283150.3
申请日：
2023-10-07
公开(公告)号：
CN117316820B
公开(公告)日：
2024-02-13
发明(设计)人：
邹巍
唐香
张永刚
申请人：
广州诺顶智能科技有限公司
申请人地址：
511400 广东省广州市番禺区石楼镇珠江路79号A幢自编201
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/683
代理机构：
广州市锦汇达知识产权代理事务所(普通合伙) 44956
代理人：
陈耿
法律状态：
授权
国省代码：
广东省
广州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-13 | 授权 | 授权 |
| 2024-01-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20231007 |