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二维材料转移装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311641521.0
申请日：
2022-12-30
公开(公告)号：
CN117976600A
公开(公告)日：
2024-05-03
发明(设计)人：
罗先刚
刘吉夫
李雄
张仁彦
申请人：
天府兴隆湖实验室
申请人地址：
610213 四川省成都市天府新区科智路999号
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20221230 |
| 2024-05-03 | 公开 | 公开 |