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一种CVD尾气处理设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311474440.6
申请日：
2023-11-08
公开(公告)号：
CN117504540B
公开(公告)日：
2024-05-07
发明(设计)人：
余洪飞
诸利民
胡振华
申请人：
南京华瑞微集成电路有限公司
申请人地址：
210000 江苏省南京市浦口区江浦街道浦滨大道88号
IPC主分类号：
B01D53/18
IPC分类号：
B01D53/22
B01D65/02
B01D53/26
代理机构：
安徽盟友知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34213
代理人：
赵青杨
法律状态：
公开
国省代码：
江苏省
南京市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-06 | 公开 | 公开 |
| 2024-07-12 | 专利权质押登记、变更及注销 | 专利权质押登记IPC(主分类):B01D 53/18登记号:Y2024980024450登记日:20240625出质人:南京华瑞微集成电路有限公司质权人:江苏银行股份有限公司南京分行发明名称:一种CVD尾气处理设备申请日:20231108授权公告日:20240507 |
| 2024-02-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):B01D 53/18申请日:20231108 |
| 2024-05-07 | 授权 | 授权 |