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光处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310928798.5
申请日：
2023-07-27
公开(公告)号：
CN117594478A
公开(公告)日：
2024-02-23
发明(设计)人：
清水昭宏
吉原启太
竹元史敏
山森贤治
申请人：
优志旺电机株式会社
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
代理机构：
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人：
徐殿军
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-23 | 公开 | 公开 |
| 2025-04-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20230727 |