一种银镁合金靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311537320.6

申请日：

2023-11-17

公开(公告)号：

CN117702063A

公开(公告)日：

2024-03-15

发明(设计)人：

王成铎张鑫园李世政何季麟李庆奎孙本双刘苗

申请人：

郑州大学

申请人地址：

450001 河南省郑州市高新技术开发区科学大道100号

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C22C5/06 C23C14/14 C22B4/06 C22B9/00 C22B9/04 B21B3/00

代理机构：

郑州大通专利商标代理有限公司 41111

代理人：

李秋红

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20231117
2024-03-15	公开	公开

共 50 条

[1]

一种银合金及银合金靶材的制备方法 [P].

王成铎 ;

李松杰 ;

尹晗 ;

李庆奎 ;

孙本双 ;

何季麟 .

中国专利 :CN118755989A ,2024-10-11

[2]

一种钛铝镁合金靶材及其制备方法 [P].

吕宏 ;

谢元锋 ;

李屹民 ;

夏扬 .

中国专利 :CN104878244B ,2015-09-02

[3]

一种银合金靶材及其制备方法 [P].

林泓成 ;

黄军浩 .

中国专利 :CN112323030A ,2021-02-05

[4]

一种银合金靶材及其制备方法和应用 [P].

侯庆龙 ;

鄢展圣 ;

陈霖 ;

李强 ;

张科 ;

陈钦忠 .

中国专利 :CN118460971A ,2024-08-09

[5]

银合金靶材、薄膜及其制备方法 [P].

许冰文 ;

陈支勇 ;

国星 ;

黄嵚甫 .

中国专利 :CN109306414A ,2019-02-05

[6]

一种铝镁合金靶材及其制备方法和应用 [P].

刘晓 ;

辛柏朴 ;

薛丽青 ;

何金江 ;

朱孜毅 ;

黄江涛 .

中国专利 :CN121183174A ,2025-12-23

[7]

一种银铜合金靶材及其制备方法 [P].

张科 ;

陈钦忠 ;

邱树将 ;

李小锦 .

中国专利 :CN110318024A ,2019-10-11

[8]

一种溅射平面银铜合金靶材及其制备方法 [P].

张信征 ;

曾墩风 ;

王津津 ;

后雨疏 .

中国专利 :CN119082676A ,2024-12-06

[9]

一种铜银合金靶材的制备方法 [P].

高岩 ;

贺昕 ;

庞欣 ;

熊晓东 ;

曾浩 ;

李勇军 ;

杨永刚 ;

陈明 ;

李建强 ;

冯昭伟 ;

刘晓 .

中国专利 :CN107937878A ,2018-04-20

[10]

一种旋转硅镁合金靶材及其制备方法 [P].

陈钦忠 ;

张科 ;

林志河 .

中国专利 :CN105506564A ,2016-04-20

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