一种高精密温控系统

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202321676558.2
申请日
2023-06-28
公开(公告)号
CN220624330U
公开(公告)日
2024-03-19
发明(设计)人
宋斌 刘翔 吴刚 杨斌 梁健泮
申请人
深圳市英维克科技股份有限公司
申请人地址
518000 广东省深圳市龙华区观澜街道观光路1303号鸿信工业园9号厂房1-3楼
IPC主分类号
F24F11/89
IPC分类号
F25B41/40 F25B41/20 F25B39/00 F25B49/00 F24H9/1863
代理机构
深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285
代理人
万欣慰
法律状态
授权
国省代码
广东省 深圳市
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共 50 条
[1]
一种高精密温控装置 [P]. 
谢秀平 ;
张海亭 ;
郑名扬 ;
代云启 ;
申屠国樑 ;
周飞 ;
张强 .
中国专利 :CN204009630U ,2014-12-10
[2]
一种半导体芯片退火设备的高精密温控系统 [P]. 
李睿 ;
吴锡鲁 ;
许娟 .
中国专利 :CN120560380A ,2025-08-29
[3]
一种高精密温控装置 [P]. 
谢秀平 ;
张海亭 ;
郑名扬 ;
代云启 ;
申屠国樑 ;
周飞 ;
张强 .
中国专利 :CN104076841A ,2014-10-01
[4]
一种温控系统 [P]. 
宋斌 ;
刘翔 ;
吴刚 ;
杨斌 ;
梁健泮 .
中国专利 :CN220625027U ,2024-03-19
[5]
高精密温控冷却系统和温控设备 [P]. 
蔡贞贞 ;
蔡佳佳 .
中国专利 :CN120122752A ,2025-06-10
[6]
一种两级换热精密温控系统 [P]. 
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中国专利 :CN111322902A ,2020-06-23
[7]
一种高低温液体循环精密温控系统 [P]. 
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[8]
一种蚀刻设备的精密温控系统 [P]. 
沈灏 .
中国专利 :CN111176345A ,2020-05-19
[9]
一种适用于厂务冷却水的精密温控系统 [P]. 
顾佳星 ;
金鑫 ;
王光光 .
中国专利 :CN215909518U ,2022-02-25
[10]
一种桶泵循环高低温液体循环精密温控系统 [P]. 
周定山 ;
祝新生 ;
江再宽 .
中国专利 :CN210463650U ,2020-05-05