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阴极驱动单元、溅射阴极和用于组装阴极驱动单元的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980091971.2
申请日：
2019-02-12
公开(公告)号：
CN113454752B
公开(公告)日：
2024-02-09
发明(设计)人：
约阿希姆·松嫩申
丹尼尔·谢弗-科皮托
托拜西·伯格曼
申请人：
应用材料公司
申请人地址：
美国加利福尼亚州
IPC主分类号：
H01J37/34
IPC分类号：
C23C14/35
代理机构：
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006
代理人：
徐金国;赵静
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-09 | 授权 | 授权 |