微机电系统器件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202280059137.7

申请日：

2022-03-17

公开(公告)号：

CN117897621A

公开(公告)日：

2024-04-16

发明(设计)人：

福光政和安西·布洛姆奎斯特阿尔蒂·托尔凯利维莱·卡亚卡里

申请人：

株式会社村田制作所

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

G01P15/125

IPC分类号：

H01L29/84

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;白银环

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01P 15/125申请日:20220317
2024-04-16	公开	公开

共 50 条

[1]

微机电系统器件以及微机电系统器件的制造方法 [P].

福光政和 ;

阿尔蒂·托尔凯利 ;

维勒佩卡·利特克内 ;

安西·布洛姆奎斯特 ;

马蒂·硫克 ;

大川忠行 ;

彼得里·基尔皮宁 .

日本专利 :CN121219224A ,2025-12-26

[2]

微机电系统器件 [P].

李刚 ;

胡维 ;

梅嘉欣 ;

庄瑞芬 .

中国专利 :CN202988703U ,2013-06-12

[3]

微机电系统器件 [P].

胡永刚 ;

周国平 ;

夏长奉 .

中国专利 :CN111924794A ,2020-11-13

[4]

微机电系统器件 [P].

李泰勳 ;

金光洙 ;

金泰润 .

中国专利 :CN110902641A ,2020-03-24

[5]

微机电系统器件 [P].

A.德赫 ;

M.纳瓦茨 .

中国专利 :CN104333838A ,2015-02-04

[6]

微机电系统器件 [P].

胡永刚 ;

周国平 ;

夏长奉 .

中国专利 :CN111924794B ,2024-06-04

[7]

微机电系统器件 [P].

李文波 ;

刘金豆 ;

杜志宏 ;

张寒冰 ;

朱向阳 ;

朱昕彤 .

中国专利 :CN119072453A ,2024-12-03

[8]

微机电系统器件以及微机电系统器件的制造方法 [P].

黑川文弥 ;

会田康弘 .

日本专利 :CN118414298A ,2024-07-30

[9]

微机电系统器件的制造方法及微机电系统器件 [P].

袁仁志 ;

林源为 .

中国专利 :CN114105086B ,2025-04-08

[10]

微机电系统器件以及微机电系统器件的制造方法 [P].

黑川文弥 ;

会田康弘 .

日本专利 :CN118434669A ,2024-08-02

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