基于微机械硅波导空间一体化集成的太赫兹微纳系统及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311738928.5

申请日：

2023-12-15

公开(公告)号：

CN117735474A

公开(公告)日：

2024-03-22

发明(设计)人：

侯芳孙超栾华凯曹扬磊黄旼郁元卫朱健

申请人：

中国电子科技集团公司第五十五研究所

申请人地址：

210016 江苏省南京市秦淮区中山东路524号

IPC主分类号：

B81B7/00

IPC分类号：

B81B7/02 B81C1/00

代理机构：

南京理工大学专利中心 32203

代理人：

陈鹏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

辽宁省大连市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-09	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B81B 7/00申请日:20231215
2024-03-22	公开	公开

共 29 条

[1]

一种宽带硅基微机械波导一体化转换结构 [P].

孙超 ;

侯芳 ;

栾华凯 ;

曹扬磊 ;

郁元卫 ;

黄旼 ;

朱健 .

中国专利 :CN117977146A ,2024-05-03

[2]

阵列波导光栅与光纤阵列一体化的结构及其制造方法 [P].

刘育梁 ;

贺月娇 .

中国专利 :CN1181361C ,2003-06-11

[3]

一种CMOS电路与体硅微机械系统集成的方法 [P].

闫桂珍 ;

郝一龙 ;

朱泳 ;

王成伟 ;

张大成 ;

王阳元 .

中国专利 :CN1266757C ,2004-07-28

[4]

一种硅基三维异构集成的射频微系统及其制造方法 [P].

陈雪平 ;

王志宇 ;

张勋 ;

朱丹丹 ;

田锋 .

中国专利 :CN108083223A ,2018-05-29

[5]

基于微腔结构的双腔自注入一体化集成光生微波源系统 [P].

王亚兰 ;

林承吉 ;

王党卫 ;

王安乐 ;

张进 ;

彭小牛 .

中国专利 :CN115064926A ,2022-09-16

[6]

基于微腔结构的双腔自注入一体化集成光生微波源系统 [P].

王亚兰 ;

林承吉 ;

王党卫 ;

王安乐 ;

张进 ;

彭小牛 .

中国专利 :CN115064926B ,2025-09-12

[7]

精密作动/感知双模式一体化的微机械梳齿结构 [P].

赵宏伟 ;

王赵鑫 ;

张萌 ;

张建海 ;

刘鹏 ;

周水龙 ;

李聪 ;

王顺博 ;

王吉如 ;

赵运来 ;

赵久成 ;

常枭 ;

王文阳 ;

候伟光 .

中国专利 :CN210665355U ,2020-06-02

[8]

一种特种空间一体化制铁装置及其方法 [P].

杨晓峰 ;

周洲 ;

毕涵喆 ;

李航宇 ;

张静远 .

中国专利 :CN108384912A ,2018-08-10

[9]

一种基于多功能复合基板的一体化集成方法 [P].

段超 ;

王正伟 ;

刘志刚 .

中国专利 :CN113194599B ,2021-07-30

[10]

偶极子天线与NMOS温度传感器一体化的太赫兹探测器 [P].

陈霏 ;

李子蒙 .

中国专利 :CN106887670A ,2017-06-23