显影方法和显影装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911132118.9

申请日：

2014-08-05

公开(公告)号：

CN110764374B

公开(公告)日：

2024-01-19

发明(设计)人：

吉原孝介京田秀治牟田行志山本太郎泷口靖史福田昌弘

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F7/30

IPC分类号：

H01L21/027

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳;徐飞跃

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-19	授权	授权

共 50 条

[1]

显影方法和显影装置 [P].

吉原孝介 ;

京田秀治 ;

牟田行志 ;

山本太郎 ;

泷口靖史 ;

福田昌弘 .

中国专利 :CN104345580B ,2015-02-11

[2]

显影方法和显影装置 [P].

吉原孝介 ;

京田秀治 ;

牟田行志 ;

山本太郎 ;

泷口靖史 ;

福田昌弘 .

中国专利 :CN110764374A ,2020-02-07

[3]

显影方法和显影装置 [P].

吉原孝介 ;

京田秀治 ;

牟田行志 ;

山本太郎 ;

泷口靖史 ;

福田昌弘 .

中国专利 :CN110824864A ,2020-02-21

[4]

显影装置和显影方法 [P].

竹口博史 ;

井关智弘 ;

吉田勇一 ;

吉原孝介 .

中国专利 :CN102043354A ,2011-05-04

[5]

显影方法和显影装置 [P].

王绪根 ;

吴长明 ;

姚振海 ;

陈骆 ;

韩建伟 ;

刘冲 .

中国专利 :CN110908252A ,2020-03-24

[6]

显影方法和显影装置 [P].

寺下裕一 ;

竹口博史 ;

下青木刚 ;

吉原孝介 ;

井关智弘 .

中国专利 :CN105404102A ,2016-03-16

[7]

显影装置和显影方法 [P].

有马裕 ;

吉田勇一 ;

山本太郎 ;

吉原孝介 .

中国专利 :CN101833250B ,2010-09-15

[8]

显影方法和显影装置 [P].

井关智弘 ;

竹口博史 ;

寺下裕一 .

中国专利 :CN105278265A ,2016-01-27

[9]

显影方法和显影装置 [P].

桥本祐作 ;

下青木刚 ;

福田昌弘 ;

田中公一朗 .

中国专利 :CN107272354A ,2017-10-20

[10]

显影方法和显影装置 [P].

竹口博史 ;

井关智弘 ;

寺下裕一 .

中国专利 :CN105278264A ,2016-01-27

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