位置传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980045196.7

申请日：

2019-06-05

公开(公告)号：

CN112368647B

公开(公告)日：

2024-03-26

发明(设计)人：

S·A·戈登 S·R·惠斯曼 D·阿克布鲁特 A·波洛 J·A·G·阿克曼斯 A·J·登博夫

申请人：

ASML荷兰有限公司

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F9/00

IPC分类号：

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

王茂华;胡良均

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-26	授权	授权

共 50 条

[1]

位置传感器 [P].

S·A·戈登 ;

S·R·惠斯曼 ;

D·阿克布鲁特 ;

A·波洛 ;

J·A·G·阿克曼斯 ;

A·J·登博夫 .

中国专利 :CN112368647A ,2021-02-12

[2]

位置传感器 [P].

王炳南 ;

张坤好 .

中国专利 :CN107430207A ,2017-12-01

[3]

位置传感器 [P].

H.安克尔 .

中国专利 :CN107076578A ,2017-08-18

[4]

旋转位置传感器 [P].

P·范德斯蒂根 .

中国专利 :CN108692652A ,2018-10-23

[5]

位置传感器以及位置传感器组件 [P].

林斐 ;

周遥 ;

周建武 .

中国专利 :CN209230511U ,2019-08-09

[6]

位置传感器 [P].

韩磊 ;

甘全 .

中国专利 :CN217083696U ,2022-07-29

[7]

位置传感器 [P].

王芳 .

中国专利 :CN202710136U ,2013-01-30

[8]

位置传感器 [P].

高育龙 ;

方运 ;

周菲 .

中国专利 :CN203178994U ,2013-09-04

[9]

位置传感器 [P].

拉法尔·亚斯琴布斯基 ;

基莫·托尔萨 .

中国专利 :CN109313043A ,2019-02-05

[10]

位置传感器 [P].

中村健英 ;

井上智昭 .

中国专利 :CN101676680B ,2010-03-24

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