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一种硅棒抛光装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202321136234.X
申请日：
2023-05-11
公开(公告)号：
CN220463458U
公开(公告)日：
2024-02-09
发明(设计)人：
高翔鹰
韩军
胡进忠
申请人：
上海芯畀科技有限公司
申请人地址：
201306 上海市浦东新区南汇新城镇江山路2699弄8号二楼
IPC主分类号：
B24B29/08
IPC分类号：
B24B41/00
B24B41/06
B24B47/12
代理机构：
成都初阳知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 51305
代理人：
赵瑶
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-09 | 授权 | 授权 |