回转式MOCVD设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410269437.9

申请日：

2024-03-10

公开(公告)号：

CN117926209A

公开(公告)日：

2024-04-26

发明(设计)人：

徐国强张丽娜闻洁

申请人：

杭州龙圣外延科技有限公司

申请人地址：

311115 浙江省杭州市余杭区瓶窑镇观山路11号1幢一楼2124室

IPC主分类号：

C23C16/18

IPC分类号：

C23C16/455

代理机构：

北京中先生知识产权代理事务所(普通合伙) 16063

代理人：

王慧忠

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/18申请日:20240310
2025-10-31	授权	授权
2024-04-26	公开	公开

共 50 条

[1]

回转式MOCVD设备 [P].

徐国强 ;

张丽娜 ;

闻洁 .

中国专利 :CN117926209B ,2025-10-31

[2]

水平内回转式MOCVD设备 [P].

徐国强 ;

张丽娜 ;

闻洁 .

中国专利 :CN117947401A ,2024-04-30

[3]

水平内回转式MOCVD设备 [P].

徐国强 ;

张丽娜 ;

闻洁 .

中国专利 :CN117947401B ,2025-11-04

[4]

MOCVD设备 [P].

徐国强 ;

张丽娜 ;

闻洁 .

中国专利 :CN117926211A ,2024-04-26

[5]

MOCVD设备 [P].

徐国强 ;

张丽娜 ;

闻洁 .

中国专利 :CN117926211B ,2025-11-04

[6]

改进密封的MOCVD设备 [P].

徐国强 ;

张丽娜 ;

闻洁 .

中国专利 :CN117926207B ,2025-11-04

[7]

改进密封的MOCVD设备 [P].

徐国强 ;

张丽娜 ;

闻洁 .

中国专利 :CN117926207A ,2024-04-26

[8]

相对旋转式MOCVD设备 [P].

徐国强 ;

张丽娜 ;

闻洁 .

中国专利 :CN118086862A ,2024-05-28

[9]

相对旋转式MOCVD设备 [P].

徐国强 ;

张丽娜 ;

闻洁 .

中国专利 :CN118086862B ,2025-10-31

[10]

反应气体预热的MOCVD设备 [P].

徐国强 ;

张丽娜 ;

闻洁 .

中国专利 :CN117926210A ,2024-04-26

← 1 2 3 4 5 →