一种金刚石衬底的高精度修复方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311688265.0

申请日：

2023-12-08

公开(公告)号：

CN117644486A

公开(公告)日：

2024-03-05

发明(设计)人：

刘长江王希玮王笃福王盛林

申请人：

济南金刚石科技有限公司

申请人地址：

250101 山东省济南市高新区孙村科云路897号

IPC主分类号：

B24D11/02

IPC分类号：

C23C14/06 C23C14/18 C23C14/58 C23C16/34 C23C16/06 C23C16/56

代理机构：

济南日新专利代理事务所(普通合伙) 37224

代理人：

王书刚

法律状态：

公开

国省代码：

河北省保定市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-05	公开	公开
2024-03-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24D 11/02申请日:20231208

共 50 条

[1]

一种晶圆级金刚石衬底的抛光方法和晶圆级金刚石衬底 [P].

林秋宝 ;

黄雪润 ;

吴波 ;

张星 .

中国专利 :CN113178382A ,2021-07-27

[2]

金刚石衬底加工方法 [P].

王镇 ;

曹繁秋 ;

韩煦 ;

金鹏 ;

王占国 ;

马南阳 ;

李云华 ;

陈健 .

中国专利 :CN120674302A ,2025-09-19

[3]

一种高精度的金刚石加工方法 [P].

李晓静 ;

乌仁娜 ;

蒋凯 .

中国专利 :CN121104759A ,2025-12-12

[4]

一种金刚石用研磨液及金刚石衬底的研磨方法 [P].

王旗 ;

王立凤 ;

刘硕 ;

朱灿 ;

马立兴 ;

张林 ;

王凯 ;

薛港生 ;

李印 ;

邵殿领 ;

隋晓明 .

中国专利 :CN118165701B ,2024-07-26

[5]

一种金刚石用研磨液及金刚石衬底的研磨方法 [P].

王旗 ;

王立凤 ;

刘硕 ;

朱灿 ;

马立兴 ;

张林 ;

王凯 ;

薛港生 ;

李印 ;

邵殿领 ;

隋晓明 .

中国专利 :CN118165701A ,2024-06-11

[6]

一种金刚石表面裂纹修复方法 [P].

彭燕 ;

韩赛斌 ;

胡秀飞 ;

徐现刚 .

中国专利 :CN118028984A ,2024-05-14

[7]

金刚石衬底的制备方法、金刚石衬底及半导体器件 [P].

刘新科 ;

钟智祥 ;

范康凯 ;

李一阳 ;

陈春燕 ;

黎晓华 ;

王铠丰 ;

何军 ;

刘河洲 .

中国专利 :CN121006616A ,2025-11-25

[8]

一种金刚石用抛光液及金刚石衬底的抛光方法 [P].

王旗 ;

王立凤 ;

刘硕 ;

朱灿 ;

马立兴 ;

宋猛 ;

李硕 ;

邵殿领 ;

李印 ;

隋晓明 .

中国专利 :CN118165653B ,2024-07-19

[9]

金刚石衬底的筛选方法 [P].

马南阳 ;

李云华 ;

陈健 ;

王镇 ;

曹繁秋 ;

金鹏 ;

王占国 .

中国专利 :CN120214231A ,2025-06-27

[10]

一种金刚石用抛光液及金刚石衬底的抛光方法 [P].

王旗 ;

王立凤 ;

刘硕 ;

朱灿 ;

马立兴 ;

宋猛 ;

李硕 ;

邵殿领 ;

李印 ;

隋晓明 .

中国专利 :CN118165653A ,2024-06-11

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