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一种太阳能电池片的硅片表面清洗装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311766777.4
申请日：
2023-12-21
公开(公告)号：
CN117457804A
公开(公告)日：
2024-01-26
发明(设计)人：
柯雨馨
许光荣
林国春
申请人：
阳光中科（福建）能源股份有限公司
申请人地址：
362000 福建省泉州市南安市霞美镇阳光路光电信息产业基地1号
IPC主分类号：
H01L31/18
IPC分类号：
H01L21/67
H01L21/673
H01L21/687
B08B3/04
代理机构：
泉州市诚得知识产权代理事务所(普通合伙) 35209
代理人：
洪剑淮
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
福建省
泉州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 31/18申请日:20231221 |
| 2024-01-26 | 公开 | 公开 |
| 2024-03-22 | 授权 | 授权 |