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自动化物料传输系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410296567.1
申请日：
2024-03-15
公开(公告)号：
CN117894725A
公开(公告)日：
2024-04-16
发明(设计)人：
龚昱
余君山
申请人：
华芯智上半导体设备（上海）有限公司
申请人地址：
201306 上海市浦东新区海基六路218弄14号楼
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
代理机构：
深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570
代理人：
张华蒙;杨尚
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-03 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20240315 |
| 2024-05-14 | 授权 | 授权 |
| 2024-04-16 | 公开 | 公开 |