一种平面光学元件表面疵病检测装置和检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210005355.4

申请日：

2022-01-05

公开(公告)号：

CN114486910B

公开(公告)日：

2024-05-10

发明(设计)人：

宋茂新陈曦李朕阳凌明椿楚玉恒管恒睿匡大鹏刘吴昊赵鑫鑫洪津

申请人：

中国科学院合肥物质科学研究院

申请人地址：

230031 安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号

IPC主分类号：

G01N21/88

IPC分类号：

G01N21/01

代理机构：

安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101

代理人：

陆丽莉;何梅生

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种平面光学元件表面疵病检测装置和检测方法 [P].

宋茂新 ;

陈曦 ;

李朕阳 ;

凌明椿 ;

楚玉恒 ;

管恒睿 ;

匡大鹏 ;

刘吴昊 ;

赵鑫鑫 ;

洪津 .

中国专利 :CN114486910A ,2022-05-13

[2]

大型平面光学元件表面疵病的检测装置和检测方法 [P].

范永涛 ;

徐学科 ;

顿爱欢 .

中国专利 :CN107064173A ,2017-08-18

[3]

平面光学元件表面疵病的检测装置及其检测方法 [P].

武东城 ;

杨荟琦 ;

曲艺 ;

高松涛 ;

李显凌 ;

隋永新 ;

杨怀江 .

中国专利 :CN107543824A ,2018-01-05

[4]

球面光学元件表面疵病的检测装置及其检测方法 [P].

武东城 ;

高松涛 ;

苏东奇 ;

彭石军 ;

苗二龙 ;

隋永新 ;

杨怀江 .

中国专利 :CN107543830B ,2018-01-05

[5]

一种球面光学元件表面疵病检测装置 [P].

陈艳 ;

俞小进 ;

曾德祥 .

中国专利 :CN209327240U ,2019-08-30

[6]

大口径平面光学元件表面疵病便携式检测方法及装置 [P].

张冬伟 ;

范大勇 ;

田清廉 ;

王川坡 ;

陈恒 ;

孙佳明 .

中国专利 :CN117663983A ,2024-03-08

[7]

光学元件表面疵病检测装置 [P].

徐建程 ;

侯园园 ;

陈曌 .

中国专利 :CN204479492U ,2015-07-15

[8]

一种曲面光学元件表面疵病的检测装置 [P].

马亮 ;

陈坚 ;

吴周令 .

中国专利 :CN208091948U ,2018-11-13

[9]

一种球面光学元件表面疵病检测装置及方法 [P].

陈艳 ;

俞小进 ;

曾德祥 .

中国专利 :CN109297989A ,2019-02-01

[10]

一种曲面光学元件表面疵病的检测装置及方法 [P].

马亮 ;

陈坚 ;

吴周令 .

中国专利 :CN108152302A ,2018-06-12

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