温度控制系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322408989.7

申请日：

2023-09-05

公开(公告)号：

CN220895451U

公开(公告)日：

2024-05-03

发明(设计)人：

卫德强

申请人：

中芯北方集成电路制造（北京）有限公司中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道18号9幢

IPC主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

G05D23/30

代理机构：

北京市一法律师事务所 11654

代理人：

刘荣娟

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-03	授权	授权

共 50 条

[1]

温度控制系统 [P].

郑文林 ;

钟扬贵 ;

李立锋 .

中国专利 :CN207397129U ,2018-05-22

[2]

温度控制系统 [P].

郝青 .

中国专利 :CN107967006A ,2018-04-27

[3]

温度控制系统 [P].

锁红波 ;

朱木兵 ;

邢明 .

中国专利 :CN206348681U ,2017-07-21

[4]

温度控制系统 [P].

杨传全 ;

金红旗 ;

杨祥钧 ;

刘杰 ;

黄国华 ;

肖勇 .

中国专利 :CN205664344U ,2016-10-26

[5]

温度控制系统 [P].

王嘉俊 ;

聂立东 ;

刘兆宇 ;

姜春鹃 ;

李丹丹 ;

张帆 ;

王英杰 ;

郑伟 ;

侯召明 ;

白昆 ;

李昂 .

中国专利 :CN220894779U ,2024-05-03

[6]

温度控制系统 [P].

郑文林 ;

李立锋 ;

钟扬贵 .

中国专利 :CN208569433U ,2019-03-01

[7]

静电卡盘的温度控制方法和温度控制系统 [P].

代怀志 .

中国专利 :CN113110644B ,2021-07-13

[8]

温度控制系统和温度控制方法 [P].

小林敦 ;

三村和弘 .

日本专利 :CN114072746B ,2024-03-15

[9]

温度控制系统和温度控制方法 [P].

小林敦 ;

三村和弘 .

中国专利 :CN114072746A ,2022-02-18

[10]

温度控制系统与温度控制方法 [P].

杨瑞纹 ;

吕奕徵 ;

梁闵雄 ;

游子澔 ;

丁子洋 .

中国专利 :CN113126666A ,2021-07-16

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