MEMS传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311643412.2

申请日：

2023-12-04

公开(公告)号：

CN118145587A

公开(公告)日：

2024-06-07

发明(设计)人：

樱木正広

申请人：

罗姆股份有限公司

申请人地址：

日本京都

IPC主分类号：

B81B5/00

IPC分类号：

B81B7/00 B81B7/02 G01P15/12 G01P15/08

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

奚勇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-07	公开	公开

共 50 条

[1]

MEMS传感器 [P].

付齐 ;

季锋 ;

刘琛 ;

陈有鑫 ;

贺锦 .

中国专利 :CN222167060U ,2024-12-13

[2]

MEMS 传感器 [P].

维莱-佩卡·吕特克宁 .

中国专利 :CN107771287A ,2018-03-06

[3]

MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统 [P].

李宗伟 ;

韩可都 ;

刘婧 ;

冯方方 ;

杨长春 .

中国专利 :CN110763870A ,2020-02-07

[4]

MEMS传感器 [P].

宋亚伟 ;

宋学谦 ;

迟海 .

中国专利 :CN215288002U ,2021-12-24

[5]

MEMS传感器 [P].

王凯 ;

陈虎 ;

刘国俊 .

中国专利 :CN206488866U ,2017-09-12

[6]

MEMS传感器 [P].

刘清惓 ;

李海涛 ;

韩晓丹 ;

曹鸿霞 .

中国专利 :CN103743789A ,2014-04-23

[7]

MEMS传感器 [P].

托马斯·弗勒利希 ;

马克·尼德伯格 ;

科林·斯蒂尔 ;

雷内·朔伊纳 ;

托马斯·克里斯坦 ;

卢卡斯·佩尔克托尔德 ;

范维东 .

中国专利 :CN109983692A ,2019-07-05

[8]

MEMS传感器 [P].

邹泉波 ;

冷群文 .

中国专利 :CN109246566A ,2019-01-18

[9]

MEMS传感器 [P].

徐香菊 .

中国专利 :CN209065411U ,2019-07-05

[10]

MEMS传感器 [P].

田中健一 ;

大川尚信 ;

矢泽久幸 ;

朝比奈宏行 ;

臼井学 ;

石曽根昌彦 ;

梅津英治 .

中国专利 :CN104760923A ,2015-07-08

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