一种磁控溅射镀膜机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202321291336.9

申请日：

2023-05-25

公开(公告)号：

CN220767146U

公开(公告)日：

2024-04-12

发明(设计)人：

李春

申请人：

东莞市春扬真空科技有限公司

申请人地址：

523000 广东省东莞市长安镇上角新居路200号401室

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/50 C23C14/56

代理机构：

北京华际知识产权代理有限公司 11676

代理人：

刘加威

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-12	授权	授权

共 50 条

[1]

真空磁控溅射镀膜机 [P].

董旺鹏 .

中国专利 :CN209798092U ,2019-12-17

[2]

磁控溅射镀膜机 [P].

徐旻生 ;

庄炳河 ;

王应斌 ;

龚文志 ;

张亮 ;

李永杰 .

中国专利 :CN209537612U ,2019-10-25

[3]

磁控溅射镀膜机 [P].

崔娜 ;

朱辉 ;

闫丽娜 ;

张卫 ;

康林杰 ;

郄奕 .

中国专利 :CN205258594U ,2016-05-25

[4]

磁控溅射镀膜机的磁控溅射靶 [P].

赵铭 .

中国专利 :CN202658220U ,2013-01-09

[5]

一种磁控溅射镀膜机 [P].

刘洪良 ;

刘洪国 ;

王树立 ;

杨凯 .

中国专利 :CN201695080U ,2011-01-05

[6]

一种磁控溅射镀膜机 [P].

俞科 ;

郭廷玮 .

中国专利 :CN208395262U ,2019-01-18

[7]

一种磁控溅射镀膜机 [P].

沈聚丰 ;

夏伟 ;

朱显君 ;

李龙哲 ;

马玉升 .

中国专利 :CN222434608U ,2025-02-07

[8]

一种磁控溅射镀膜机 [P].

王福贞 .

中国专利 :CN206680571U ,2017-11-28

[9]

真空磁控溅射镀膜机 [P].

林锡强 ;

陈孝田 .

中国专利 :CN201793725U ,2011-04-13

[10]

真空磁控溅射镀膜机 [P].

朱国朝 ;

袁安素 ;

沈学忠 ;

温振伟 .

中国专利 :CN206692724U ,2017-12-01

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