基板支承构造和基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310843832.9

申请日：

2023-07-11

公开(公告)号：

CN117438266A

公开(公告)日：

2024-01-23

发明(设计)人：

伊藤毅若林孝德安友淳志

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J37/20

IPC分类号：

H01J37/32

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-09	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/20申请日:20230711
2024-01-23	公开	公开

共 50 条

[1]

基板支承装置和包括基板支承装置的基板处理装置 [P].

郑韶滢 ;

金炯俊 .

韩国专利 :CN112309816B ,2024-08-02

[2]

基板支承装置和包括基板支承装置的基板处理装置 [P].

郑韶滢 ;

金炯俊 .

中国专利 :CN112309816A ,2021-02-02

[3]

基板支承装置及基板处理装置 [P].

黑田圣弥 .

日本专利 :CN119786426A ,2025-04-08

[4]

基板支承装置、基板处理装置及基板支承方法 [P].

马岛和之 ;

御所窪玄 .

中国专利 :CN101826481A ,2010-09-08

[5]

基板支承构件、基板处理装置以及基板输送装置 [P].

羽岛仁志 .

中国专利 :CN111466017A ,2020-07-28

[6]

基板支承单元和具有该基板支承单元的基板处理装置 [P].

金大炫 ;

罗世源 .

中国专利 :CN112420550A ,2021-02-26

[7]

基板支承单元和具有该基板支承单元的基板处理装置 [P].

朴仁煌 ;

朴贵秀 ;

李暎熏 ;

崔永燮 ;

吴承勋 ;

禹钟贤 ;

诸振模 .

中国专利 :CN112117232A ,2020-12-22

[8]

基板支承单元和具有该基板支承单元的基板处理装置 [P].

金贤秀 .

中国专利 :CN110349885A ,2019-10-18

[9]

基板支承单元和具有该基板支承单元的基板处理装置 [P].

金大炫 ;

罗世源 .

韩国专利 :CN112420550B ,2025-02-25

[10]

基板支承装置及基板处理装置 [P].

山口臣治 ;

属直彦 ;

天本圭悟 .

中国专利 :CN105047583A ,2015-11-11

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