共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
激光加工装置和激光加工方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280041665.X
申请日：
2022-06-15
公开(公告)号：
CN117480588A
公开(公告)日：
2024-01-30
发明(设计)人：
荻原孝文
申请人：
浜松光子学株式会社
申请人地址：
日本静冈县
IPC主分类号：
H01L21/301
IPC分类号：
代理机构：
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人：
杨琦;何中文
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/301申请日:20220615 |
| 2024-01-30 | 公开 | 公开 |