一种亚微米碳化硅分级装置及其使用方法

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专利类型
发明
申请号
CN202311741516.7
申请日
2023-12-18
公开(公告)号
CN117718227A
公开(公告)日
2024-03-19
发明(设计)人
汪炜喆 柯茜 李京波 王小周 刘抑波 王创垒 张梦龙 杨雄 邓宇 刘超洋
申请人
浙江芯科半导体有限公司
申请人地址
311400 浙江省杭州市富阳区春江街道江南路68号第23幢706室
IPC主分类号
B07B15/00
IPC分类号
B07B1/18 B07B1/46 B07B1/42 B03C1/12
代理机构
北京精翰专利代理有限公司 11921
代理人
吴联啸
法律状态
公开
国省代码
浙江省 杭州市
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共 50 条
[1]
亚微米碳化硅分级装置 [P]. 
刘士文 ;
鞠全胜 ;
刘荔 ;
王勇 .
中国专利 :CN101722099A ,2010-06-09
[2]
亚微米碳化硅分级装置 [P]. 
刘士文 ;
鞠全胜 ;
刘荔 ;
王勇 .
中国专利 :CN201596562U ,2010-10-06
[3]
亚微米碳化硅分级装置 [P]. 
石勇 ;
黄勇 ;
石峰 .
中国专利 :CN215917822U ,2022-03-01
[4]
一种亚微米碳化硅分级装置 [P]. 
梁逍 ;
邢根源 ;
赵志强 .
中国专利 :CN211707339U ,2020-10-20
[5]
一种亚微米碳化硅分级装置 [P]. 
胡尊奎 .
中国专利 :CN212283680U ,2021-01-05
[6]
一种稳定的亚微米碳化硅分级装置 [P]. 
张隽爽 ;
李明涛 ;
郑海 ;
耿思琦 .
中国专利 :CN116889936B ,2025-11-21
[7]
亚微米碳化硅收集设备 [P]. 
刘士文 ;
刘天宝 ;
王义东 ;
鞠全胜 .
中国专利 :CN201596393U ,2010-10-06
[8]
一种亚微米碳化硅收集设备 [P]. 
刘磊 ;
孙国平 .
中国专利 :CN206621897U ,2017-11-10
[9]
一种亚微米碳化硅隔焰板 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN212179553U ,2020-12-18
[10]
一种碳化硅粉分级装置 [P]. 
叶钢强 ;
叶金霖 ;
张丽 .
中国专利 :CN221515209U ,2024-08-13