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多分辨率叠加计量目标
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202180094683.X
申请日：
2021-08-10
公开(公告)号：
CN116997863B
公开(公告)日：
2024-05-24
发明(设计)人：
E·哈贾
A·玛纳森
S·艾森巴赫
A·戈洛塔斯万
Y·格劳尔
E·马斯洛夫斯基
申请人：
科磊股份有限公司
申请人地址：
美国加利福尼亚州
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
H01L21/66
代理机构：
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人：
刘丽楠
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-24 | 授权 | 授权 |
| 2024-03-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20210810 |