一种基于石墨烯的三明治结构散热薄膜、半导体器件及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202011349967.2
申请日
2020-11-26
公开(公告)号
CN112490204B
公开(公告)日
2024-04-02
发明(设计)人
李昕 朱莉 沈鑫 杨向红 刘康 孙岳 党鑫 胡龙 刘卫华 韩传余
申请人
西安交通大学
申请人地址
710049 陕西省西安市咸宁西路28号
IPC主分类号
H01L23/367
IPC分类号
H01L23/373
代理机构
西安通大专利代理有限责任公司 61200
代理人
安彦彦
法律状态
授权
国省代码
陕西省 西安市
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共 50 条
[1]
一种基于石墨烯的三明治结构散热薄膜、半导体器件及其制备方法 [P]. 
李昕 ;
朱莉 ;
沈鑫 ;
杨向红 ;
刘康 ;
孙岳 ;
党鑫 ;
胡龙 ;
刘卫华 ;
韩传余 .
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