一种单排多电子束扫描组件以及多排多电子束扫描组件

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202223538329.2

申请日：

2022-12-29

公开(公告)号：

CN220584938U

公开(公告)日：

2024-03-12

发明(设计)人：

贾朝伟罗德坤李琦曾利严鹏程

申请人：

江苏智研科技有限公司

申请人地址：

212400 江苏省句容市经济开发区科技新城科技大道1号

IPC主分类号：

G21K5/00

IPC分类号：

代理机构：

绵阳远卓弘睿知识产权代理事务所(普通合伙) 51371

代理人：

蒋海燕

法律状态：

授权

国省代码：

河北省衡水市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-12	授权	授权

共 50 条

[1]

一种双排多电子束扫描组件以及多排多电子束扫描装置 [P].

贾朝伟 ;

罗德坤 ;

李琦 ;

曾利 ;

严鹏程 .

中国专利 :CN220307443U ,2024-01-05

[2]

多电子束描绘装置以及多电子束描绘方法 [P].

岩崎光太 ;

山田拓 .

日本专利 :CN114078678B ,2024-09-20

[3]

多电子束描绘装置以及多电子束描绘方法 [P].

岩崎光太 ;

山田拓 .

中国专利 :CN114078678A ,2022-02-22

[4]

电子束偏转扫描装置 [P].

严鹏程 ;

贾朝伟 ;

曾利 .

中国专利 :CN211656496U ,2020-10-09

[5]

多电子束聚焦装置 [P].

尹华碧 .

中国专利 :CN212648184U ,2021-03-02

[6]

多电子束图像获取装置及多电子束图像获取方法 [P].

石井浩一 ;

安藤厚司 .

日本专利 :CN117981038A ,2024-05-03

[7]

一种多电子束的真空电子束熔炼炉 [P].

张爱栋 ;

李杨 ;

赵增群 .

中国专利 :CN216954023U ,2022-07-12

[8]

多电子束光学器件 [P].

A·利特曼 ;

R·纳夫塔利 .

:CN119008362A ,2024-11-22

[9]

多线电子束熔化 [P].

B.齐默曼 .

中国专利 :CN105073327A ,2015-11-18

[10]

多电子束检查装置 [P].

P·克瑞特 .

中国专利 :CN107112183B ,2017-08-29

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