一种使硅片快速脱离方吸盘的装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN202322805716.6
申请日
2023-10-19
公开(公告)号
CN221102109U
公开(公告)日
2024-06-07
发明(设计)人
孙晓军 董俊武 李锐 缪飞龙 于志颖 束云兵
申请人
一道新能源科技股份有限公司
申请人地址
324022 浙江省衢州市衢江区百灵南路43号
IPC主分类号
H01L31/18
IPC分类号
H01L21/683
代理机构
北京盛广信合知识产权代理有限公司 16117
代理人
刘化帅
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种硅片移载装置 [P]. 
李新丰 ;
王彦齐 ;
孙永刚 .
中国专利 :CN217534646U ,2022-10-04
[2]
一种硅片分片机 [P]. 
李永杰 ;
张建峰 ;
朱元 ;
王森 .
中国专利 :CN208806229U ,2019-04-30
[3]
一种硅片分片机 [P]. 
李永杰 ;
杨健 ;
费正洪 .
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[4]
一种快速脱离装置 [P]. 
李轲 .
中国专利 :CN205998133U ,2017-03-08
[5]
一种快速脱离装置 [P]. 
冯子旻 ;
袁克耀 ;
陈平山 ;
王翀昊 ;
王东瑜 .
中国专利 :CN217515333U ,2022-09-30
[6]
一种使中包注余大块快速脱离的工具 [P]. 
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于挥 ;
黄正华 .
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[7]
一种用于真空镀膜承载硅片的载板 [P]. 
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[8]
一种用于减缓载体硅片撞击力的装置 [P]. 
李雪方 ;
申开愉 ;
杨飞飞 ;
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[9]
一种太阳能硅片的吸盘装置 [P]. 
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[10]
一种使汽车脱离陷坑的装置 [P]. 
胡海峰 .
中国专利 :CN212195406U ,2020-12-22