一种酸碱蚀刻液综合利用工艺及系统

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专利类型
发明
申请号
CN202211001919.3
申请日
2022-08-20
公开(公告)号
CN115385504B
公开(公告)日
2024-03-29
发明(设计)人
沈国强 胡志程 冯豪祺 张勇 张大刚 藏炳胜
申请人
杭州豪腾科技有限公司
申请人地址
311400 浙江省杭州市富阳区新登镇清泉路100号
IPC主分类号
C02F9/00
IPC分类号
C02F101/16 C02F1/66 C02F1/10 C02F1/00
代理机构
代理人
法律状态
著录事项变更
国省代码
浙江省 杭州市
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共 50 条
[1]
一种酸碱蚀刻液综合利用工艺及系统 [P]. 
沈国强 ;
胡志程 ;
冯豪祺 ;
张勇 ;
张大刚 ;
藏炳胜 .
中国专利 :CN115385504A ,2022-11-25
[2]
一种蚀刻液的综合利用方法 [P]. 
方稳 ;
张玉芳 .
中国专利 :CN115784493B ,2025-04-25
[3]
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仇嘉英 ;
谢逢春 .
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[4]
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[5]
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[6]
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王明玉 ;
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[7]
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[8]
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[9]
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熊耀康 ;
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[10]
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