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一种砷化镓多晶的金相腐蚀液及其金相腐蚀方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311441242.X
申请日：
2023-11-01
公开(公告)号：
CN117447999A
公开(公告)日：
2024-01-26
发明(设计)人：
张浩
易明辉
张汪阳
申请人：
广东先导微电子科技有限公司
申请人地址：
511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间
IPC主分类号：
C09K13/00
IPC分类号：
C30B33/10
G01N1/32
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
牛玉霜
法律状态：
公开
国省代码：
江苏省
常州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-26 | 公开 | 公开 |
| 2024-02-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C09K 13/00申请日:20231101 |