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用于化学气相沉积设备的加热装置和化学气相沉积设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311632100.1
申请日：
2023-11-30
公开(公告)号：
CN117512572A
公开(公告)日：
2024-02-06
发明(设计)人：
麻鹏达
薛运周
鲁天豪
申请人：
甬江实验室
申请人地址：
315201 浙江省宁波市镇海区骆驼街道慈海南路1792号
IPC主分类号：
C23C16/46
IPC分类号：
C23C16/44
代理机构：
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201
代理人：
张伟
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/46申请日:20231130 |
| 2024-02-06 | 公开 | 公开 |