共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种半封闭式的防液罩
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322405194.0
申请日：
2023-09-05
公开(公告)号：
CN220895462U
公开(公告)日：
2024-05-03
发明(设计)人：
刘亮
徐志先
张瑞强
申请人：
上海博纳微电子设备有限公司
申请人地址：
200120 上海市浦东新区秀浦路3999号12栋2楼（西门）
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
代理机构：
无锡苏盈专利代理有限公司 32787
代理人：
吴忠义
法律状态：
授权
国省代码：
上海市
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-03 | 授权 | 授权 |